電子顯微鏡（Electron Microscope）是一種利用電子束作為光源，通過電子與樣品相互作用來獲取樣品表面或內部結構高分辨率成像的設備。它主要包括透射電子顯微鏡（TEM）、掃描電子顯微鏡（SEM）等類型。TEM的工作原理是，將電子束照射到超薄樣品上，電子束穿過樣品后，由于樣品內部的結構和組成不同，電子束會發生不同程度的散射和吸收，從而形成帶有樣品信息的透射電子。這些透射電子被磁透鏡系統聚焦并放大，最終在熒光屏或檢測器上形成圖像。TEM具有極高的分辨率，能夠達到原子級別，適用于觀察材料的內部結構和缺陷。SEM的工作原理則不同，它將電子束聚焦成極細的探針，以光柵掃描方式逐行掃描樣品表面。當電子束轟擊樣品時，會激發出二次電子、背散射電子和特征X射線等信號。這些信號被不同的探測器收集，經過處理后形成反映樣品表面形貌、成分和晶體取向等信息的圖像。SEM對樣品表面的微觀形貌有立體感強的成像效果，且制樣要求相對簡單。
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