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標(biāo)題: 白光干涉儀測量范圍有哪些？ [打印本頁]

作者: xiaobaba 時(shí)間: 2025-10-31 17:58
標(biāo)題: 白光干涉儀測量范圍有哪些？
　　白光干涉儀的測量范圍涵蓋垂直與橫向兩個(gè)維度，并具備材料與結(jié)構(gòu)的廣泛適應(yīng)性，具體如下：
　　一、垂直測量范圍（高度/厚度）
　　1.超光滑表面至微米級臺階：
　?、俚湫痛怪狈直媛士蛇_(dá) 0.1nm，能精準(zhǔn)捕捉納米級表面起伏（如半導(dǎo)體晶圓表面粗糙度Ra值低至0.7nm）。
　?、跍y量范圍通常覆蓋 1nm至200μm，部分高端設(shè)備（如大視野3D白光干涉儀）可擴(kuò)展至 10mm，滿足從薄膜厚度到深槽結(jié)構(gòu)的測量需求。
　　2.分層膜厚無損檢測：通過非接觸式光學(xué)干涉，可對多層薄膜進(jìn)行3D形貌重構(gòu)，精準(zhǔn)分析各層膜厚分布（如5nm級有機(jī)油膜的全區(qū)域厚度檢測）。
　　二、橫向測量范圍（面積/視野）
　　1.微觀形貌表征：
　?、贆M向分辨率通常為 0.3μm，單次掃描視野范圍從數(shù)十微米至數(shù)毫米（如1.7mm×1.3mm單幅圖像）。
　?、诖笠曇霸O(shè)備（如0.6倍鏡頭）可實(shí)現(xiàn) 15mm單幅超大視野，結(jié)合高精度（0.1nm級）完成8寸晶圓的全域掃描（FULL MAPPING）。
　　2.復(fù)雜結(jié)構(gòu)適配性：適用于高寬比＞5的納米柱、深寬比＞10的溝槽等特殊結(jié)構(gòu)，避免因信號衰減導(dǎo)致的測量盲區(qū)。
　　三、材料與結(jié)構(gòu)適應(yīng)性
　　1.表面反射率范圍：可測量表面反射率從 0.5%至99.9% 的樣品，涵蓋鏡面、漫反射面及透明薄膜（如通過調(diào)整光源波段匹配PMMA等光刻膠的折射率特性）。
　　2.材料類型兼容性：適用于導(dǎo)體、半導(dǎo)體、絕緣體等各類材料，包括柔軟、黏性表面（如生物材料）及難測量表面（如深蝕刻工藝形成的深槽結(jié)構(gòu)）。
　　四、典型應(yīng)用場景
　　1.半導(dǎo)體制造：
　?、倬A表面粗糙度檢測（Ra值0.1-10nm）、電子束光刻（EBL）后3D輪廓測量（如50nm寬納米線的側(cè)壁傾角89.2°）。
　?、诜謱幽ず駸o損檢測（如薄膜材料研究中的各層膜厚分布分析）。
　　2.精密加工與材料研究：
　?、俑呱顚挶冉Y(jié)構(gòu)測量（如深槽結(jié)構(gòu)的槽深、槽寬精準(zhǔn)獲取）。
　?、趧?dòng)態(tài)測量（集成多普勒激光測振系統(tǒng)，實(shí)現(xiàn)復(fù)雜工況下的“動(dòng)態(tài)”3D輪廓測量）。
　　3.潤滑與生物材料：
　?、儆袡C(jī)油膜厚度掃描（毫米級視野覆蓋5nm級油膜）。
　　②柔軟表面粗糙度測量（如生物材料無損檢測）。
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