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標(biāo)題: 等離子去膠機(jī)常見故障診斷與解決 [打印本頁(yè)]

作者: ninali 時(shí)間: 2025-7-17 15:55
標(biāo)題: 等離子去膠機(jī)常見故障診斷與解決
故障一：等離子體異常熄滅（生產(chǎn)急停）??
???高頻誘因??：
①RF匹配器失效（反射功率＞10%）
②真空泄漏（腔壓5秒內(nèi)飆升＞50mTorr）
③工藝氣體流量驟降（MFC堵塞或電磁閥故障）
??應(yīng)急方案??：
檢查真空泵油位及密封圈（尤其腔門O形圈）
手動(dòng)觸發(fā)RF源自檢程序，監(jiān)聽13.56MHz震蕩器異響
拆解氣體管路，超聲波清洗MFC內(nèi)部微粒
??故障二：等離子去膠機(jī)去膠均勻性劣化（邊緣殘留/中心過刻）??
???核心病灶??：
①靜電卡盤（ESC）氦氣泄漏（溫度波動(dòng)＞±5℃）
②電極板表面聚合物堆積（厚度＞100μm）
③腔室石英窗污染（透光率下降至＜70%）
??修復(fù)策略??：
ESC泄漏測(cè)試：注入2psi氦氣，壓降率＞5%/min需更換密封圈
啟動(dòng)自動(dòng)腔室清洗（O?等離子體120分鐘，功率密度＞3W/cm2）
用HF/H?O混合液（1：100）擦拭石英窗恢復(fù)透光
??故障三：工藝終點(diǎn)失控（過刻蝕損傷基底）??
???致命信號(hào)??：
①光學(xué)發(fā)射譜（OES）483nm（CO*特征峰）監(jiān)測(cè)失效
②殘余氣體分析儀（RGA）基線漂移＞10%
??根治方案??：
校準(zhǔn)OES光路：用標(biāo)準(zhǔn)汞燈驗(yàn)證波長(zhǎng)精度±0.1nm
RGA執(zhí)行電子倍增器除氣（250℃/4小時(shí)）
增加二次終點(diǎn)校驗(yàn)：紅外測(cè)溫監(jiān)控晶圓溫升拐點(diǎn)
??故障四：顆粒污染暴增（＞50顆/wafer）??
???關(guān)鍵污染源??：
①腔壁剝落物（尤其鋁電極表面陽(yáng)極氧化層龜裂）
②傳輸機(jī)械手摩擦碎屑（陶瓷涂層破損）
③聚合物“雪花”效應(yīng)（氣壓突變導(dǎo)致副產(chǎn)物脫落）
??深度清潔流程??：
腔體拋丸處理：0.3mm氧化鋁顆粒沖擊重建表面
機(jī)械手關(guān)節(jié)涂覆二硫化鉬潤(rùn)滑層
工藝后緩釋降壓（速率＜10Torr/秒）
??故障五：真空系統(tǒng)癱瘓（抽速降低30%）??
???典型癥候??：
①分子泵軸承過熱（＞100℃）
②機(jī)械泵油乳化（水分含量＞500ppm）
③粗抽閥卡滯（開合延遲＞3秒）
??重生維護(hù)??：
分子泵拆解：更換氮化硅陶瓷軸承（壽命＞50000小時(shí)）
加裝油霧分離器+冷凍式空氣干燥機(jī)
電磁閥線圈阻抗測(cè)試（標(biāo)準(zhǔn)值35±2Ω）
??故障六：尾氣處理異常（有毒氣體泄漏）??
???危險(xiǎn)警報(bào)??：
①裂解爐溫度驟降（＜700℃導(dǎo)致CF?未分解）
②堿性吸附劑飽和（pH值從13跌至8以下）
??安全保障改造??：
紅外熱像儀掃描裂解爐保溫層，修補(bǔ)650℃高溫區(qū)隔熱棉
吸附塔壓差監(jiān)測(cè)＞50kPa時(shí)強(qiáng)制再生循環(huán)
增配激光氣體分析儀（TDLAS）實(shí)時(shí)檢測(cè)HF泄漏

作者: 余額不足 時(shí)間: 2025-11-3 13:52
這個(gè)應(yīng)用場(chǎng)景很廣泛。

作者: 333 時(shí)間: 2025-11-26 21:52
謝謝樓主毫無保留的分享，讓我們?cè)诠ぷ髦卸嗔诵路较颉?hr noshade size="2" width="100%" color="#808080"> 作者: baerqi 時(shí)間: 6 天前
這個(gè)角度很有創(chuàng)意，讓人眼前一亮。

作者: 可莉 時(shí)間: 昨天 16:42
謝謝樓主，很有啟發(fā)

作者: 智測(cè)未來工業(yè) 時(shí)間: 3 小時(shí)前
內(nèi)容專業(yè)，很有幫助

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